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微压压力校验仪抗干扰性好

 更新时间:2016-09-09 点击量:1034
 
 
  欢迎来本厂家咨询,本厂家值得您选择.微压压力校验仪测量的步骤,微压的一般特点就是压力量程小,受到的环境影响很大,针对微压测量,压力校验仪需要进行什么方面的工作呢。压力校验仪微压传感器的选择,主要考虑用户的使用量程,选择不同的传感器。微压压力校验仪传感器接口选择,以及测量介质.微压传感器必须进行温度补偿,以减小环境温度对压力校验仪压力测量的影响。微压测量的位置影响,应和校准状态相同,如果位置不一致,则在压力校验仪测量前进行清零操作。
  微压压力校验仪灵敏度和线性度的有效仿真方法。实际的研究中,发现一种基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析(FEA)和路径积分的仿真方法。通过这一方法实现了在满量程范围内不同压力值下对传感器电压输出值的估计,在此基础上对压力传感器的灵敏度和线性度进行了有效仿真。
   微压压力校验仪发展迅速,新研制出的一类传感器采用压电单晶片结构,并内置前置放大器,通过放大器放大微弱信号并实现阻抗变换,从而使传感器具有量程小、灵敏度高、抗干扰性好等特点。这类传感器已广泛用于脉搏、管壁压力波动等微小信号的检测。但与此同时,对于微压传感器度的检验这一技术难题,就迫切需要简便的测量装置测量该类型传感器的性能。根据力学原理,在角区存在应力集中效应,使硅膜在正面或背面受压以后,角区会具有应力的极值,因此破裂首先从该处发生。引入应力匀散结构以后,使角区变成具有一定曲率的圆角区,使该区的应力极值下降。在硅膜与边框或背岛的交界处要形成有一定曲率半经的缓变结构,采用一般的常规各向异性湿法腐蚀是无法实现的。为此,采用了掩模-无掩模各向异性湿法腐蚀技术。更多相关产品,请咨询本公司.